Habka Waxsoosaarka Semiconductor - Tignoolajiyada Etch

Boqolaal habraac ayaa loo baahan yahay si ay u noqdaan awafergalay semiconductor. Mid ka mid ah hababka ugu muhiimsan waaxoqin- taas oo ah, ku dhejinta qaababka wareegga ganaaxa on thewafer. GuushaxoqinNidaamku wuxuu ku xiran yahay maaraynta doorsoomayaasha kala duwan ee kala duwan ee qaybinta, iyo qalab kasta oo dhejis ah waa in loo diyaariyaa inuu ku shaqeeyo xaaladaha ugu fiican. Injineerada habka etching waxay adeegsadaan tignoolajiyada wax soo saarka ee heer sare ah si ay u dhammaystiraan hawshan faahfaahsan.
Xarunta Wararka ee SK Hynix ayaa wareysatay xubnaha kooxda farsamada ee Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch, iyo End Etch si ay wax badan uga bartaan shaqadooda.
EtchSafarka Horumarka Waxsoosaarka
Soo saarista semiconductor, etching waxaa loola jeedaa qaababka xardho ee filimada khafiifka ah. Qaababka waxaa lagu buufiyaa iyadoo la isticmaalayo balaasmaha si loo sameeyo dulucda ugu dambeysa ee tallaabo kasta oo geeddi-socod ah. Ujeeddadeeda ugu weyni waa inay si dhammaystiran u soo bandhigto qaabab sax ah oo waafaqsan qaabka oo ay ilaaliso natiijooyinka la midka ah dhammaan shuruudaha.
Haddii dhibaatooyin ay ka dhacaan habka kaydinta ama sawir-qaadista, waxaa lagu xallin karaa tignoolajiyada etching xulashada (Etch). Si kastaba ha ahaatee, haddii ay wax qaldamaan inta lagu jiro habka xoqidda, xaaladda lama beddeli karo. Tani waa sababta oo ah walxo isku mid ah laguma buuxin karo goobta xardhan. Sidaa darteed, habka wax soo saarka semiconductor, etching waa muhiim si loo go'aamiyo wax-soo-saarka guud iyo tayada badeecada.

Habka etching waxaa ka mid ah siddeed tallaabo: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN iyo MLM.
Marka hore, ISO (Go'doomin) marxaladda etches (Etch) silicon (Si) ee waferka si loo abuuro aagga unugga firfircoon. Marxaladda BG (Buried Gate) waxay samaysaa xariiqda ciwaanka safka ah (Khadka Erayga) 1 iyo albaabka si loo abuuro kanaal elegtaroonig ah. Marka xigta, heerka BLC (Bit Line Contact) wuxuu abuuraa xiriirka ka dhexeeya ISO iyo xariiqda ciwaanka (Bit Line) 2 ee aagga unugga. Heerka GBL (Peri Gate+Cell Bit Line) wuxuu isku mar abuuri doonaa xariiqda ciwaanka unugga iyo iridda ku taal hareereheeda 3.
Marxaladda SNC (Heshiiska Node Kaydinta) waxay sii wadaa abuuritaanka xidhiidhka ka dhexeeya aagga firfircoon iyo noodhka kaydinta 4. Kadibna, marxaladda M0 (Metal0) waxay samaysaa dhibcaha isku xirka S/D ee ku wareegsan (Storage Node) 5 iyo dhibcaha isku xirka inta u dhaxaysa xariiqda ciwaanka tiirka iyo noodhka kaydinta. Marxaladda SN (Storage Node) waxay xaqiijinaysaa awoodda halbeegga, iyo marxaladda MLM (Multi Layer Metal) ee xigta waxay abuurtaa sahayda korantada dibadda iyo fiilooyinka gudaha, iyo dhammaan habka injineernimada etching (Etch) waa la dhammeeyaa.

Marka la eego in farsamayaqaannada etching (Etch) ay inta badan mas'uul ka yihiin qaabeynta semiconductors, waaxda DRAM waxay u qaybsan tahay saddex kooxood: Front Etch (ISO, BG, BLC); Etch Dhexe (GBL, SNC, M0); Dhammaadka Etch (SN, MLM). Kooxahan ayaa sidoo kale loo qaybiyay iyadoo loo eegayo boosaska wax soo saarka iyo boosaska qalabka.
Jagooyinka wax-soo-saarka ayaa mas'uul ka ah maaraynta iyo hagaajinta hababka wax-soo-saarka unugga. Jagooyinka wax-soo-saarku waxay door aad u muhiim ah ka ciyaaraan hagaajinta wax-soo-saarka iyo tayada wax-soo-saarka iyada oo loo marayo xakamaynta doorsooma iyo tallaabooyinka kale ee wax-soo-saarka.
Jagooyinka qalabku waxay mas'uul ka yihiin maaraynta iyo xoojinta qalabka wax soo saarka si looga fogaado dhibaatooyinka dhici kara inta lagu jiro habka xoqidda. Mas'uuliyadda aasaasiga ah ee boosaska qalabku waa in la hubiyo waxqabadka ugu fiican ee qalabka.
Inkasta oo mas'uuliyaduhu ay cad yihiin, dhammaan kooxuhu waxay u shaqeeyaan ujeedo guud - taas oo ah, si loo maareeyo loona hagaajiyo hababka wax soo saarka iyo qalabka la xidhiidha si loo hagaajiyo wax soo saarka. Si taas loo gaaro, koox kastaa waxay si firfircoon u wadaagtaa guulahooda iyo meelaha ay ku horumarinayaan, waxayna iska kaashadaan horumarinta waxqabadka ganacsiga.
Sida loola tacaalo caqabadaha tignoolajiyada yaraynta

SK Hynix wuxuu bilaabay wax soo saar ballaaran oo 8Gb LPDDR4 DRAM ah oo loogu talagalay nidaamka fasalka 10nm (1a) bishii Luulyo 2021.

Qaababka wareegga xusuusta ee Semiconductor waxay galeen xilligii 10nm, hagaajinta ka dib, hal DRAM wuxuu qaadi karaa qiyaastii 10,000 unug. Sidaa darteed, xitaa habka etching, marinka habsocodka kuma filna.
Haddii godka la sameeyay (Hole) 6 uu aad u yar yahay, waxay u muuqan kartaa "aan la furin" oo xannibaya qaybta hoose ee jajabka. Intaa waxaa dheer, haddii daloolka la sameeyay uu aad u weyn yahay, "isku-xidhid" ayaa dhici karta. Marka farqiga u dhexeeya labada godood uu ku filnaan waayo, "isku-xidhka" ayaa dhacaya, taasoo keenta dhibaatooyin isku dheggan tallaabooyinka xiga. Maaddaama semiconductors ay noqdaan kuwo si sii kordheysa loo nadiifiyo, kala duwanaanta qiyamka cabbirka daloolka ayaa si tartiib tartiib ah u sii yaraanaya, khatarahaasna si tartiib tartiib ah ayaa loo tirtiri doonaa.
Si loo xalliyo dhibaatooyinka kor ku xusan, khabiirada tignoolajiyada etching waxay sii wadaan hagaajinta habka, oo ay ku jiraan wax ka beddelka habka habka loo kariyo iyo APC7 algorithm, iyo soo bandhigida tignoolajiyada cusub ee etching sida ADCC8 iyo LSR9.
Markii baahida macaamiishu ay noqoto mid aad u kala duwan, caqabad kale ayaa soo baxday - isbeddelka wax soo saarka badeecadaha badan. Si loo daboolo baahiyaha macaamiisha noocaas ah, shuruudaha habsocodka la hagaajiyay ee alaab kasta waxay u baahan yihiin in si gaar ah loo dejiyo. Tani waa caqabad aad u gaar ah injineerada sababtoo ah waxay u baahan yihiin inay sameeyaan tignoolajiyada wax soo saarka ballaaran ee daboolaya baahiyaha xaaladaha la aasaasay iyo xaaladaha kala duwan.
Si taas loo gaaro, injineerada Etch waxay soo bandhigeen tignoolajiyada "APC offset" 10 si ay u maareeyaan derivatives kala duwan oo ku salaysan alaabada asaasiga ah (Alaabada Muhiimka ah), oo la aasaasay oo loo adeegsaday "Nidaamka T-index" si loo maareeyo badeecado kala duwan. Dadaalkaas, nidaamka ayaa si joogto ah loo hagaajiyay si loo daboolo baahiyaha wax soo saarka badeecadaha badan.