Habka diyaarinta ee qaybaha garaafka dahaarka leh ee TaC ee caadiga ah

QAYBTA/1
Habka uumiga uumiga kiimikada (CVD)
At 900-2300 ℃, adoo isticmaalaya TaCl₅iyo CnHm sida tantalum iyo ilo kaarboon, H₂ sida dhimista jawiga, Gaaska sidaha, filimka falcelinta falcelinta.Dahaarka la diyaariyey waa cufan, labis iyo nadiif sare.Si kastaba ha ahaatee, waxaa jira dhibaatooyin qaarkood sida habka adag, kharashka qaaliga ah, xakamaynta socodka hawada adag iyo waxtarka dhigista hoose.
QAYBTA/2
Habka slurry sintering:
Biyo-baxa ka kooban isha kaarboonka, isha tantalum, firdhiya iyo xidhaha waxa lagu dahaadhay garaafka waxana lagu dahaadhay heerkul sare ka dib marka la qalajiyo.Dahaarka diyaarsan ayaa koraya iyada oo aan lahayn hanuunin joogto ah, wuxuu leeyahay qiimo jaban wuxuuna ku habboon yahay wax soo saarka ballaaran.Way hadhsan tahay in la sahamiyo si loo gaadho labbiska iyo dahaarka buuxa ee garaafka weyn, baabi'inta cilladaha taageerada iyo kor u qaadista xoogga isku xidhka dahaarka.
QAYBTA/3
Habka buufinta balaasmaha:
Budada TaC waxaa lagu dhalaaliyaa balaasmaha arc heerkul sarreeya, lagu atomeeyo dhibco heerkul sare ah jet xawaare sare leh, oo lagu buufiyo dusha walxaha garaafka.Way fududahay in la sameeyo lakabka oksaydh hoostiisa oo aan faakuum ahayn, iyo isticmaalka tamarta waa weyn yahay.

 

Sawirkasaxaarad wafer ah ka dib isticmaalka GaN epitaxial koray qalabka MOCVD (Veeco P75).Midka bidixda waxa lagu dahaadhay TaC kan midigna waxa lagu dahaadhay SiC.

TaC dahaarka lehQaybaha graphite waxay u baahan yihiin in la xalliyo

QAYBTA/1
Xoog ku xidhidh:
Isku-dhafka fidinta kulaylka iyo sifooyinka kale ee jirka ee u dhexeeya TaC iyo qalabka kaarboonku way kala duwan yihiin, xoogga isku-xidhka daahan waa mid hooseeya, way adagtahay in laga fogaado dildilaaca, daloolada iyo cadaadiska kulaylka, iyo daahan waa sahlan tahay in la dilo jawiga dhabta ah ee ka kooban qudhun iyo soo noqnoqda kor u kaca iyo habka qaboojinta.
QAYBTA/2
daahirnimo
Daahan TaCwuxuu u baahan yahay inuu ahaado daahir aad u sarreeya si looga fogaado wasakhowga iyo wasakhowga marka la eego xaaladaha heerkulka sare, iyo heerarka nuxurka waxtarka leh iyo heerarka sifaynta ee kaarboonka bilaashka ah iyo wasakhda gudaha ee dusha sare iyo gudaha daahan buuxa ayaa loo baahan yahay in la isku raaco.
QAYBTA/3
Xasilooni
Iska caabinta heerkulka sare iyo caabbinta jawiga kiimikada ee ka sarreeya 2300 ℃ ayaa ah tilmaamayaasha ugu muhiimsan si loo tijaabiyo xasilloonida dahaarka.Dalooleyaasha, dildilaaca, geesaha maqan, iyo xuduudaha hadhuudhka hal jihaynta ayaa si fudud u keeni kara gaasas wasakhaysan inay gudaha u galaan oo galaan garaafka, taasoo keentay fashilinta ilaalinta dahaarka.
QAYBTA/4
Iska caabbinta oksidaynta:
TaC waxay bilaabataa inay oxidize ilaa Ta2O5 marka ay ka sarreyso 500 ℃, iyo heerka oksaydhisku wuxuu kordhiyaa si aad ah iyadoo kor u kaca heerkulka iyo xoojinta oksijiinta.Oksijiinta dusha sare waxay ka bilaabataa xudduudaha hadhuudhka iyo miraha yaryar, waxayna si tartiib tartiib ah u sameysaa crystals columnar iyo crystals jabay, taas oo keentay tiro badan oo dalool ah iyo godadka, iyo dhexgelinta ogsijiinta ayaa sii xoogeysata ilaa daaha laga saaro.Lakabka oxide ee ka soo baxa wuxuu leeyahay kuleylka kuleylka hooseeya iyo midabyo kala duwan oo muuqaal ah.
QAYBTA/5
Midnimada iyo qallafsanaanta:
Qaybinta aan sinnayn ee dusha dahaarka waxay u horseedi kartaa isku-duubnaanta kulaylka deegaanka, kordhinta khatarta dillaaca iyo qulqulka.Intaa waxaa dheer, qallafsanaanta dusha sare waxay si toos ah u saameyneysaa isdhexgalka ka dhexeeya daaha iyo deegaanka dibadda, iyo qallafsanaanta aadka u sarreeya waxay si fudud u keentaa qulqulka korodhka leh waferka iyo kuleylka aan sinnayn.
QAYBTA/6
Cabbirka hadhuudhka:
Cabbirka hadhuudhka isku midka ah wuxuu caawiyaa xasilloonida dahaarka.Haddii cabbirka hadhuudhku yar yahay, curaarta ma aha mid adag, waana sahlan tahay in la oksijiinta iyo daxalka, taasoo keentay tiro badan oo dildilaac ah iyo godadka cidhifka hadhuudhka, taas oo yaraynaysa waxqabadka ilaalinta ee daboolka.Haddii cabbirka hadhuudhku uu aad u weyn yahay, waa yara qallafsan yahay, dahaarkana way fududahay in la dilo marka lagu jiro diiqada kulaylka.