Goobta maanta ee tignoolajiyada elektiroonigga ah, qalabka semiconductor ayaa door muhiim ah ka ciyaara.Waxaa ka mid ah, Silicon carbide (SiC) oo ah qalab fara badan oo semiconductor ah, oo leh faa'iidooyin waxqabad oo aad u wanaagsan, sida burburka sare ee korantada, xawaaraha korantada sare, kuleylka kuleylka sare, iwm, ayaa si tartiib tartiib ah u noqonaya diiradda cilmi-baarayaasha iyo injineerada.Silikoon carbide epitaxial disk, oo ah qayb muhiim ah oo ka mid ah, ayaa muujisay awood codsi oo weyn.
一, waxqabadka diskka epitaxial: faa'iidooyinka buuxa
1. Qalabka korantada ee aadka u sarreeya: marka la barbardhigo qalabka silikoon ee dhaqameed, burburka beerta koronto ee carbide silicon waa in ka badan 10 jeer.Tani waxay ka dhigan tahay in xaaladaha korantada ee isku midka ah, qalabka elektarooniga ah ee isticmaalaya silikoon carbide epitaxial disks ay u adkeysan karaan qulqulka sare, taas oo abuuraysa koronto-sare, soo noqnoqosho, qalab elektaroonik ah oo sarreeya.
2. Xawaaraha saturation-xawaaraha sare: xawaaraha saturation of silicon carbide waa in ka badan 2 jeer silikon.Ku shaqeynta heerkulka sare iyo xawaaraha sare, silikoon carbide epitaxial disk wuxuu si fiican u shaqeeyaa, taas oo si weyn u wanaajisa xasilloonida iyo isku halaynta qalabka elektaroonigga ah.
3. Waxtarka kuleyliyaha sare ee waxtarka leh: kuleylka kuleylka ee carbide silicon wuxuu ka badan yahay 3 jeer silikoon.Habkani wuxuu u oggolaanayaa qalabka elektaroonigga ah inay si fiican u daadiyaan kuleylka inta lagu jiro hawlgalka joogtada ah ee tamarta sare, taas oo ka hortagaysa kulaylka iyo hagaajinta badbaadada qalabka.
4. Degganaanshiyo kiimiko oo heer sare ah: deegaan aad u daran sida heerkul sare, cadaadis sare iyo shucaac xoog leh, waxqabadka silikoon carbide wali wuu xasiloon yahay sidii hore.Habkani waxa uu awood u siinayaa silikoon carbide epitaxial disk si ay u ilaaliso waxqabadka wanaagsan ee wejiga deegaanka adag.
二, habka wax soo saarka: si taxadar leh loo xardhay
Habka ugu muhiimsan ee wax soo saarka SIC epitaxial disk waxaa ka mid ah kaydinta uumiga jirka (PVD), kaydinta uumiga kiimikada (CVD) iyo koritaanka epitaxial.Mid kasta oo ka mid ah hababkan ayaa leh astaamo u gaar ah waxayna u baahan yihiin in si sax ah loo kantaroolo cabbirro kala duwan si loo gaaro natiijooyinka ugu wanaagsan.
1. Habka PVD: Uumi-baxa ama tufaaxid iyo habab kale, bartilmaameedka SiC waxaa lagu shubaa substrate si loo sameeyo filim.Filimka lagu diyaariyey habkani wuxuu leeyahay nadiif sare iyo crystallinity wanaagsan, laakiin xawaaraha wax soo saarku waa mid gaabis ah.
2. Habka CVD: Iyadoo la jejebinayo gaaska isha silikoon carbide heerkulka sare, waxaa lagu shubaa on substrate si ay u sameeyaan filim khafiif ah.Dhumucda iyo lebbiska filimka lagu diyaariyey habkani waa la xakameyn karaa, laakiin nadiifnimada iyo crystallinity waa liidata.
3. Kobaca Epitaxial: koritaanka lakabka SiC epitaxial ee silikon monocrystalline ama walxaha kale ee monocrystalline ee habka kaydinta uumiga kiimikada.Lakabka epitaxial ee loo diyaariyey habkani wuxuu leeyahay isbarbardhig wanaagsan iyo waxqabad aad u fiican oo leh walxaha substrate-ka, laakiin kharashku waa mid aad u sarreeya.
三, Codsiga rajada: Iftiin mustaqbalka
Iyada oo horumarinta joogtada ah ee tignoolajiyada korantada korantada iyo baahida sii kordheysa ee waxqabadka sare iyo aaladaha elektiroonigga ah ee la isku halleyn karo, silikoon carbide epitaxial disk wuxuu leeyahay rajo ballaaran oo codsi ah wax soo saarka aaladda semiconductor.Waxaa si weyn loo isticmaalaa in soo saarida ee soo noqnoqda sare-soo noqnoqda qalabka semiconductor awood sare, sida shido koronto elektaroonik ah, inverters, rectifiers, iwm Intaa waxaa dheer, waxaa sidoo kale si ballaaran loo isticmaalo in unugyada qoraxda, LED iyo beeraha kale.
Faa'iidooyinka waxqabadka gaarka ah iyo horumarinta joogtada ah ee habka wax soo saarka, silikoon carbide epitaxial disk ayaa si tartiib tartiib ah u muujinaya awooddeeda weyn ee goobta semiconductor.Waxaan haysanaa sabab aan ku aamino in mustaqbalka sayniska iyo tignoolajiyada, ay ka ciyaari doonto door muhiim ah.
Waqtiga boostada: Nov-28-2023