Giraanta Diirada Saaran ee SiC ee Semicera waa qayb gees-goyn oo loogu talagalay in lagu daboolo baahiyaha wax-soo-saarka semiconductor sare. Laga sameeyay nadiif sareSilicon Carbide (SiC), giraantan diiradda ayaa ku habboon codsiyada ballaaran ee warshadaha semiconductor, gaar ahaan gudahaHabka CVD SiC, plasma etching, iyoICPRIE (Balaasma Firfircoonaanta Ion Etching Si Dhaqan Leh) Waxaa loo yaqaan caabbinta xirashada gaarka ah, xasilloonida kuleylka sare, iyo nadiifnimada, waxay hubisaa waxqabadka muddada dheer ee deegaannada cadaadiska sare leh.
In semiconductorwaferka shaqaynta, Sicis Focus Focus Rings ayaa muhiim u ah ilaalinta sixitaanka saxda ah inta lagu jiro codsiyada etching qalalan iyo wafer etching. Giraanta diirada SiC waxay ka caawisaa diirada saarista balasmaha inta lagu gudajiro geedi socodka sida hawlgalada mashiinka etching plasma, taasoo ka dhigaysa lama huraan u ah xoqida maraqa silikoon. Maaddada adag ee SiC waxay bixisaa iska caabin aan la qiyaasi karin oo nabaadguur ah, hubinta cimri dhererka qalabkaaga iyo yaraynta wakhtiga hoos u dhaca, taas oo lagama maarmaan u ah ilaalinta wax soo saarka sare ee samaynta semiconductor.
Giraanta Diirada Saaran ee SiC ee Semicera waxaa loo naqshadeeyay inay u adkeyso heerkulka aadka u daran iyo kiimikooyinka daran ee sida caadiga ah lagula kulmo warshadaha semiconductor. Waxaa si gaar ah loogu talagalay in loogu isticmaalo hawlaha saxda ah ee saxda ah sidaDahaarka CVD SiC, halkaas oo nadiifnimada iyo cimri dhererku ay ugu muhiimsan yihiin. Iyada oo iska caabin heer sare ah u leh shoogga kulaylka, alaabtani waxay hubisaa waxqabadka joogtada ah iyo xasilloon ee xaaladaha ugu adag, oo ay ku jiraan soo-gaadhista heerkulka sare inta lagu jirowaferhababka xoqidda.
Codsiyada semiconductor, halka saxda ah iyo isku halaynta ay fure u yihiin, Solid SiC Focus Ring ayaa door muhiim ah ka ciyaara kor u qaadista waxtarka guud ee geeddi-socodka xoqidda. Naqshadeeda adag, waxqabadka sare waxay ka dhigaysaa doorashada ugu fiican ee warshadaha u baahan qaybo nadiif ah oo ku shaqeeya xaalado aad u daran. Haddii lagu isticmaaloCVD SiC giraantaCodsiyada ama iyada oo qayb ka ah habka etching plasma, Semicera's Solid SiC Focus Focus Ring waxay gacan ka geysataa kor u qaadida waxqabadka qalabkaaga, iyadoo bixisa cimriga dheer iyo isku halaynta baahidaada hababka wax soo saarka.
Astaamaha Muhiimka ah:
• Iska caabbinta xirashada sare iyo xasilloonida kulaylka sare
• Walax SiC adag oo saafi-sare leh oo loogu talagalay cimriga dheer
Ku habboon etching plasma, ICP RIE, iyo codsiyada etching qalalan
Ku fiican yahay etching wafer, gaar ahaan hababka CVD SiC
• Waxqabadka la isku halayn karo ee deegaan aad u daran iyo heerkul sare
• Waxay xaqiijisaa saxnaanta iyo hufnaanta silica maraqa silikoon
Codsiyada:
Hababka CVD SiC ee wax soo saarka semiconductor
• Plasma etching iyo nidaamyada ICP RIE
• Hababka xoqidda qallalan iyo wafer
• xoqin iyo dhigidda mashiinnada etching plasma
• Qaybaha saxda ah ee giraangiraha waferka iyo CVD SiC