Qalabka Dahaarka leh ee Silicon Carbide ee MOCVD

TheSilicon Carbide Discloogu talagalay MOCVD oo ka socota semicera, xal wax qabad sare leh oo loogu talagalay waxtarka ugu wanaagsan ee hababka koritaanka epitaxial. Qalabka semicera Silicon Carbide Disc wuxuu bixiyaa xasillooni kuleyl gaar ah iyo saxsanaan, taasoo ka dhigaysa qayb lama huraan u ah Si Epitaxy iyo SiC Epitaxy hababka. Waxaa loo farsameeyay si uu ugu adkaysto heerkulka sare iyo shuruudaha dalbanaya ee codsiyada MOCVD, saxankani wuxuu xaqiijiyaa waxqabad la isku halayn karo iyo cimri dherer.

Qalabkayaga Silicon-Carbide Disc wuxuu la jaan qaadayaa qaabab badan oo MOCVD ah, oo ay ku jiraanSusceptor MOCVDnidaamyada, oo ay taageerto hababka horumarsan sida GaN on SiC Epitaxy. Waxa kale oo ay si habsami leh ula midowdaa PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, iyo nidaamyada Qaadaha RTP, iyada oo kor u qaadaysa saxnaanta iyo tayada wax soo saarkaaga. Haddii loo isticmaalo soo saarista Monocrystalline Silicon ama codsiyada Susceptor Epitaxial LED, saxankani wuxuu xaqiijinayaa natiijooyin aan caadi ahayn.

Intaa waxaa dheer, semicera's Silicon Carbide Disc waa mid la qabsan kara qaabab kala duwan, oo ay ku jiraan Pancake Susceptor iyo dejinta Susceptor Barrel, oo bixisa dabacsanaan jawiyada wax soo saarka ee kala duwan. Ku darida Qaybaha Photovoltaic waxay sii kordhinaysaa codsigeeda warshadaha tamarta qoraxda, taasoo ka dhigaysa qayb la taaban karo oo lagama maarmaanka u ah casrigaepitaxialkoritaanka iyo wax soo saarka semiconductor.