Waa maxay Susceptor MOCVD?

TheMOCVDHabkani waa mid ka mid ah hababka ugu xasiloon ee hadda loo isticmaalo warshadaha si ay u koraan filimo khafiif ah oo tayo sare leh, sida hal weji InGaN epilayers, III-N, filimada semiconductor oo leh qaab-dhismeedyada ceelka tirada badan, waxayna muhiimad weyn u leedahay soo saarida qalabka semiconductor iyo optoelectronic.

TheSiC dahaarka MOCVDwaa haystae wafer gaar ah oo lagu dahaadhay silikoon carbide (SiC) oo loogu talagalayepitaxial koritaanka habka kaydinta uumiga kiimikada ee birta ah (MOCVD).

Dahaarka SiC wuxuu leeyahay iska caabin kiimiko oo heer sare ah iyo xasilloonida kulaylka, taas oo ka dhigaysa doorashada ugu habboon ee dahsoonayaasha MOCVD ee loo isticmaalo dalbashada hababka koritaanka epitaxial.

Qayb muhiim ah oo ka mid ah geeddi-socodka MOCVD waa susceptor-ka, kaas oo ah shay muhiim ah si loo hubiyo isku-duubnaanta iyo tayada filimada khafiifka ah ee la soo saaray.

Waa maxay nuglaanta? Susceptor waa qayb gaar ah oo loo isticmaalo habka MOCVD si loo taageero loona kululeeyo substrate-ka kaas oo filimka khafiifka ah lagu shubo. Waxay leedahay hawlo badan, oo ay ku jiraan nuugista tamarta korantada, u beddelashada kulayl, iyo si siman u qaybinta kulaylka substrate-ka. Kuleyliyaha labbiska ah wuxuu muhiim u yahay koritaanka filimada dhuuban ee isku midka ah ee dhumucdiisuna tahay iyo halabuurka.

Noocyada susceptors:
1. Susceptors Graphite: Susceptors graphite waxa badanaa lagu dahaadhay lakab difaac ah sidaSilicon carbide (SiC), kaas oo lagu yaqaano hab-dhaqanka kulaylka sare iyo xasiloonida. TheDahaarka SiCwaxay siisaa meel adag oo difaac ah oo ka hortagta daxalka iyo xaalufka heerkulka sare.

2. Susceptors Silicon carbide (SiC): Susceptors: Kuwani waxay ka samaysan yihiin gebi ahaan SiC waxayna leeyihiin degganaansho kulayl oo heer sare ah waxayna xidhaan caabbinta. Dareen-celinta SiC waxay si gaar ah ugu habboon yihiin hababka heerkulka sare iyo bay'adaha daxalka leh.

Sida shakiyeyaashu uga shaqeeyaan MOCVD:

Habka MOCVD, horudhacyaasha ayaa lagu soo geliyaa qolka falcelinta halkaas oo ay ku jajabaan kana falceliyaan si ay filim khafiif ah ugu sameeyaan substrate-ka. Dabaylaha ayaa door muhiim ah ka ciyaara isagoo hubinaya in substrate-ku si siman u kululaado, taas oo muhiim u ah helitaanka sifooyinka filimka joogtada ah ee dhammaan dusha sare ee substrate-ka. Qalabka iyo nashqadeynta qofka shakiga leh ayaa si taxadar leh loo doortay si loo buuxiyo shuruudaha gaarka ah ee habka dhigista, sida heerkulka heerkulka iyo iswaafajinta kiimikada.

Faa'iidooyinka isticmaalka wax-qabadyada tayada sare leh:
• Tayada filimka oo la xoojiyey: Iyada oo la siinayo qaybinta kulaylka isku midka ah, dabaylaha ayaa ka caawiya in la gaaro filim leh dhumuc iyo halabuur joogto ah, taas oo muhiim u ah waxqabadka qalabka semiconductor.
Waxtarka hab-socodka oo la wanaajiyey: tuhmanayaasha tayada sare leh waxay kordhiyaan waxtarka guud ee habka MOCVD iyaga oo yareynaya suurtagalnimada cilladaha iyo kordhinta dhalidda filimada la isticmaali karo.
• Cimriga iyo isku halaynta: Ka-hortaggayaasha ka samaysan walxaha raagaya sida SiC waxay xaqiijiyaan isku halaynta muddada dheer waxayna yareeyaan kharashka dayactirka.

Dareenku waa qayb muhiim ah oo ka mid ah geeddi-socodka MOCVD oo si toos ah u saameeya tayada iyo waxtarka dhigista filimada khafiifka ah. Macluumaad dheeri ah oo ku saabsan cabbirrada la heli karo, dulleeyaasha MOCVD iyo qiimayaasha, fadlan ha ka waaban inaad nala soo xiriirto. Injineeradayadu waxay ku farxi doonaan inay kugula taliyaan agab ku habboon oo ay uga jawaabaan su'aalahaaga oo dhan.

Telefoon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com


Waqtiga boostada: Agoosto-12-2024