Waa maxay tillaabooyinka ugu muhiimsan ee habaynta substrate-ka SiC?

Sida aan u soo saarno talaabooyinka habaynta ee SiC substrates waa sida soo socota:

1. Jihaynta Crystal: Isticmaalka kala-duwanaanshaha raajada si loo hago xuubka kristal.Marka shucaaca raajada lagu jiheeyo wejiga kristanta ah ee la rabo, xagasha alwaaxdu waxay go'aamisaa jihada crystal.

2. Shiididda Dhexroorka Dibadeed: Hal-kiristaalo oo ku koray qolofyada garaafka ayaa inta badan dhaafa dhexroorka caadiga ah.Shiidi dhexroorka dibadda ayaa hoos u dhigaya cabbirrada caadiga ah.

Shiidi Dhamaadka Wejiga: 4-inch 4H-SiC substrates caadi ahaan waxay leeyihiin laba geesood oo meelaynta, hoose iyo sare.Shiidi dhamaadka wejiga wuxuu furayaa geesahan meelaynta.

3. Xaraashka Xargaha: jeexitaanka siliggu waa tallaabo muhiim u ah habaynta 4H-SiC substrates.Dildilaacyada iyo waxyeelada dusha sare ee ka dhalata inta lagu jiro jeexitaanka siligga waxay si xun u saameeyaan geeddi-socodyada xiga, kordhinta waqtiga habaynta oo keenaysa khasaare.Habka ugu caansan waa miinshaar silig badan leh oo leh xoqin dheeman ah.Dhaqdhaqaaqa is-beddelka ah ee fiilooyinka birta ah ee ku xidhan abrasives dheeman ayaa loo isticmaalaa in lagu gooyo 4H-SiC ingot.

4. Chamfering: Si looga hortago cidhifyada cidhifyada oo loo yareeyo khasaaraha la isticmaali karo inta lagu jiro hababka xiga, cidhifyada fiiqan ee jajabyada siliga-sawn ayaa lagu dhajiyay qaabab cayiman.

5. Khafiifinta: miinshaarta fiilada waxay ka tagtaa xoqdo badan iyo waxyeello dusha sare ah.Khafiifinta waxaa lagu sameeyaa iyadoo la isticmaalayo giraangiraha dheemanka ah si meesha looga saaro cilladahan sida ugu macquulsan.

6. Shiididda: Habkani waxa ka mid ah shiidi qallafsan iyo shiidid ganaax ah iyadoo la isticmaalayo boron carbide ama abrasives dheeman yar oo cabbir yar si meesha looga saaro waxyeelada hadhaaga ah iyo waxyeelada cusub ee la soo saaray xilliga khafiifinta.

7. Daalid: Tallaabooyinka ugu dambeeya waxa ay ku lug leeyihiin naaxinta qallafsan iyo si fiican u dhalaalaysa iyadoo la isticmaalayo alumina ama silikoon oxide abrasives.Dareeraha dhalaalku waxa uu jilciyaa dusha sare, kaas oo si farsamaysan looga saaro abrasives.Talaabadani waxay hubinaysaa dusha siman oo aan waxyeello lahayn.

8. Nadiifinta: Ka saarida walxaha, biraha, filimada oksaydhka, hadhaaga organic, iyo wasakhooyinka kale ee ka hadhay talaabooyinka habaynta.

SiC epitaxy (2) - 副本 (1) (1)


Waqtiga boostada: Meey-15-2024