Wafer wasakhaysan dusha sare iyo habka lagu ogaanayo

Nadaafaddadusha waferwaxay si weyn u saameyn doontaa heerka u-qalmitaanka ee hababka iyo alaabada semiconductor ee xiga. Ilaa 50% dhammaan khasaaraha wax-soo-saarka waxaa keenadusha waferfaddarayn.

Walxaha keeni kara isbedel aan la koontaroolin ee waxqabadka korantada ee qalabka ama habka wax soo saarka qalabka ayaa si wada jir ah loogu tilmaamaa wasakh. Wasakhdu waxay ka iman kartaa maraqa lafteeda, qolka nadiifka ah, qalabka wax lagu farsameeyo, kiimikooyinka habraaca ama biyaha.Waferfaddaraynta guud ahaan waxaa lagu ogaan karaa indho-indheyn muuqaal ah, habka kormeerka, ama isticmaalka qalabka falanqaynta adag ee tijaabada qalabka ugu dambeeya.

v Wasakhowga dusha sare ee maraqa silikoon | Shabakadda isha sawirka

Natiijooyinka falanqaynta faddaraynta waxaa loo isticmaali karaa in lagu muujiyo heerka iyo nooca wasakhda ee uu la kulmaywaferin tallaabo hab gaar ah, mishiin gaar ah ama habka guud. Marka loo eego kala soocidda hababka ogaanshaha,dusha waferfaddaraynta waxa loo qaybin karaa noocyada soo socda.

Wasakhowga birta

Wasakhowga ay sababaan biraha waxay sababi kartaa cilladaha aaladda semiconductor ee heerar kala duwan.
Biraha alkaline ama biraha dhulka alkaline (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, iwm.) waxay sababi karaan qulqulka hadda jira ee qaab dhismeedka pn, taas oo iyaduna horseedaysa danab burburka oksaydhka; biraha kala-guurka iyo birta culus (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, iwm.) wasakhowga waxay yarayn kartaa wareegga nolosha side, hoos u dhigi kartaa nolosha adeegga qaybta ama kordhinta mugdiga mugdiga ah marka qaybtu shaqaynayso.

Hababka caadiga ah ee lagu ogaado wasakhowga birta ayaa ah wadarta iftiinka raajada, nuugista atomigga spectroscopy iyo inductively labbiska balasmaha mass spectrometry (ICP-MS).

v Wafer wasakhaysan oogada sare | ResearchGate

Wasakhda birta waxay ka iman kartaa reagennada loo isticmaalo nadiifinta, etching, lithography, dhigista, iwm., ama mishiinada loo isticmaalo habka, sida foornooyinka, reactors, implantation ion, iwm.

Wasakhaynta walxaha

Kaydka alaabta dhabta ah waxaa badanaa lagu arkaa iyadoo la ogaanayo iftiinka ka firirsan cilladaha dusha sare. Sidaa darteed, magaca sayniska ee saxda ah ee wasakhowga walxaha waa cilad-iftiin. Wasakhaynta qaybtu waxay sababi kartaa xannibaad ama indho-xidhid saamayn ku leh hababka xoqidda iyo lithography.

Inta lagu jiro koritaanka filimada ama meelaynta, pinholes iyo microvoids ayaa la soo saaraa, iyo haddii qaybuhu ay weyn yihiin oo ay qabtaan, waxay xitaa keeni karaan wareegyo gaaban.

v Sameynta wasaqowga walxaha | Shabakadda isha sawirka

Wasakhaynta walxaha yaryar waxay keeni kartaa hadh dusha sare ah, sida inta lagu jiro sawir-qaadista. Haddii qaybo waaweyni ay ku yaalaan inta u dhaxaysa sawir-qaadista iyo lakabka sawir-qaadista, waxay yareyn karaan xallinta soo-gaadhista xiriirka.

Intaa waxaa dheer, waxay xannibi karaan ions degdega ah inta lagu jiro ion implantation ama engegan qalalan. Qaybaha ayaa sidoo kale laga yaabaa in lagu xiro filimka, si ay u jiraan kuuskuus iyo kuuskuus. Lakabyada kaydsan ee soo socda ayaa laga yaabaa inay dillaacaan ama ay iska caabiyaan isku-ururinta goobahan, taasoo keenta dhibaatooyin inta lagu jiro soo-gaadhista.

wasakhowga dabiiciga ah

Wasakhda ka kooban kaarboonka, iyo sidoo kale qaababka isku xidhka ee la xidhiidha C, waxa loo yaqaan faddaraynta organic. Wasakhowga dabiiciga ah ayaa laga yaabaa inay ku keenaan guryaha hydrophobic lama filaan ahdusha wafer, kordhiyaan qallafsanaanta dusha sare, soo saara dusha cidhiidhi ah, carqaladeeya koritaanka lakabka epitaxial, oo saameeya saamaynta nadiifinta wasakhowga birta haddii aan marka hore wasakhda laga saarin.

Wasakhowga dusha sare ah waxaa guud ahaan lagu ogaadaa qalabyada ay ka midka yihiin desorption MS, raajada photoelectron spectroscopy, iyo Auger electron spectroscopy.

v Sawirka isha isha

Wasakhowga gaaska iyo wasakhowga biyaha

Unugyada hawada iyo wasakhowga biyaha leh cabbirka unugyadu inta badan laguma saaro hawo-wax-ku-oolnimada sare ee caadiga ah (HEPA) ama filtarrada hawada aadka u hooseeya (ULPA). Wasakhaynta noocaan ah waxaa badanaa lagu ilaaliyaa ion mass spectrometry iyo korantada korantada.

Wasakhowga qaar ayaa laga yaabaa inay ka tirsan yihiin qaybo badan, tusaale ahaan, qaybuhu waxay ka koobnaan karaan walxo organic ama bir ah, ama labadaba, sidaas darteed wasakheynta noocan ah waxaa sidoo kale loo kala saari karaa noocyo kale.

 

v Wasakhowga molecular gaseous | IONICON

Intaa waxaa dheer, wasakhowga waferka waxa sidoo kale loo kala saari karaa sida wasakhowga molecular, wasakhowga walxaha, iyo wasakhowga habsocod ee ka soo baxa qashinka iyadoo loo eegayo cabbirka isha wasakhaysan. Inta yar ee ay le'eg tahay qaybta wasakhaysan, way sii adkaanaysaa in meesha laga saaro. Wax soo saarka qaybta elektiroonigga ah ee maanta, hababka nadiifinta waferka ayaa xisaabiya 30% - 40% habka wax soo saarka oo dhan.

 

v Wasakhowga dusha sare ee maraqa silikoon | Shabakadda isha sawirka