Nidaamyada korriinka kristal waxay ku jiraan wadnaha wax-soo-saarka semiconductor, halkaas oo wax soo saarka waferrada tayada sare leh ay muhiim u tahay. Qayb muhiim ah oo ka mid ah hababkan waaSilicon carbide (SiC) doon wafer ah. Doomaha waferka ee SiC ayaa aqoonsi weyn ka helay warshadaha sababtoo ah waxqabadkooda gaarka ah iyo isku halaynta. Maqaalkan, waxaan ku baari doonaa sifooyinka cajiibka ah eeDoomaha waferka ee SiCiyo doorka ay ku leeyihiin fududaynta kobaca crystal ee wax soo saarka semiconductor.
Doomaha waferka ee SiCwaxaa si gaar ah loogu talagalay in lagu xajiyo oo lagu qaado waferrada semiconductor inta lagu jiro marxaladaha kala duwan ee koritaanka crystal. Maaddada, silikoon carbide waxay bixisaa isku-dhafka gaarka ah ee guryaha la jecel yahay taas oo ka dhigaysa doorasho ku habboon doomaha wafer. Ugu horrayn waa xoog farsamo oo heersare ah iyo degganaansho heerkul sare ah. SiC waxay ku faantaa adkeysi aad u wanaagsan iyo adkeysi, taasoo u ogolaaneysa inay u adkeysato xaaladaha ba'an ee la kulma inta lagu jiro hababka koritaanka crystal.
Mid ka mid ah faa'iidooyinka muhiimka ah eeDoomaha waferka ee SiCwaa kulaylkooda gaarka ah. Diidmada kulaylku waa arrin muhiim u ah koritaanka crystal-ka, maadaama ay saamayso isku-duubnaanta heerkulka oo ay ka hortagto diiqada kulaylka ee maraqa. Dhaqdhaqaaqa kulaylka sare ee SiC ayaa sahlaysa wareejinta kulaylka hufan, hubinta qaybinta heerkulka joogtada ah ee maraqyada. Dabeecaddani waxay si gaar ah faa'iido u leedahay hababka sida korriinka epitaxial, halkaas oo xakamaynta heerkulka saxda ah ay lagama maarmaan u tahay helitaanka filim isku mid ah.
Intaa waxaa dheer,Doomaha waferka ee SiCsoo bandhigaan firfircooni la'aan kiimikaad oo heer sare ah. Waxay u adkaysanayaan tiro balaadhan oo ah kiimikooyinka daxalka ah iyo gaasaska sida caadiga ah loo isticmaalo soosaarka semiconductor. Degganaanshahan kiimikaad ayaa taas xaqiijinaysaDoomaha waferka ee SiCilaashada daacadnimadooda iyo waxqabadkooda wakhti dheer oo ay la kulmaan jawiga adag. iska caabinta weerarka kiimikaad waxay ka hortagtaa wasakhda iyo xaalufka alaabta, ilaalinta tayada maraqyada la beero.
Degganaanshaha cabbirka ee doomaha waferka ee SiC waa arrin kale oo xusid mudan. Waxaa loogu talagalay in lagu ilaaliyo qaabkooda iyo qaabkooda xitaa heerkul sare, hubinta meelaynta saxda ah ee wafers inta lagu jiro koritaanka crystal. Xasiloonida cabbirku waxa ay yaraynaysaa qallafsanaan ama qallafsanaan kasta oo doonta ah, taas oo u horseedi karta is-waafajin ama korriin aan labis ahayn oo ku dhex jira marawaxadaha. Meelayntan saxda ah ayaa muhiim u ah gaaritaanka hanuuninta crystallographic ee la doonayo iyo isku mid ahaanshaha walxaha semiconductor ee ka dhashay.
Doomaha waferka ee SiC waxa kale oo ay bixiyaan sifooyin koronto oo aad u wanaagsan. Silicon carbide waa walxo semiconductor lafteeda, oo lagu garto bandgap ballaaran iyo koronto burbursan oo sarreeya. Tilmaamaha korantada ee dabiiciga ah ee SiC waxay xaqiijiyaan daadinta korantada ugu yar iyo faragelinta inta lagu jiro hababka koritaanka crystal. Tani waxay si gaar ah muhiim u tahay marka la korayo aaladaha awooda sare leh ama la shaqeynta qaabdhismeedka elektiroonigga ah ee xasaasiga ah, maadaama ay gacan ka geysaneyso ilaalinta sharafta agabka semiconductor ee la soo saarayo.
Intaa waxaa dheer, doomaha wafer-ka ee SiC waxa ay caan ku yihiin cimrigooda iyo dib u isticmaalidooda. Waxay leeyihiin nolol hawl-gal oo dheer, oo awood u leh inay u adkeystaan wareegyada korriinka kristal ee badan iyada oo aan si weyn u xumaan. Waartani waxay u tarjuntaa waxtarka kharashka waxayna yaraynaysaa baahida beddelka joogtada ah. Dib-u-isticmaalka doomaha wafer ee SiC kaliya kuma kordhinayo dhaqamada wax soo saarka ee waara laakiin sidoo kale waxay hubisaa waxqabadka joogtada ah iyo isku halaynta hababka kobaca crystal.
Gebagebadii, doomaha wafer-ka ee SiC waxay noqdeen qayb muhiim u ah kobaca crystal ee wax soo saarka semiconductor. Xoogooda makaanikada ah ee gaarka ah, xasiloonida heerkulka sare, dhaqdhaqaaqa kulaylka, qallafsanaanta kiimikada, xasiloonida cabbirka, iyo sifooyinka korantada ayaa ka dhigaya kuwo aad loogu jecel yahay fududaynta hababka koritaanka crystal. Doomaha wafer-ka ee SiC waxay xaqiijiyaan qaybinta heerkul isku mid ah, ka hortagga faddaraynta, waxayna awood u yeelaan meelaynta saxda ah ee maraqa, ugu dambaynta taasoo horseedaysa soo saarista agabka semiconductor tayo sare leh. Maaddaama baahida loo qabo aaladaha semiconductor-ka horumarsan ay sii kordheyso, muhiimada doomaha wafer-ka ee SiC si loo gaaro korriinka crystal-ka ugu wanaagsan lama soo koobi karo.
Waqtiga boostada: Apr-08-2024