Habka wax soo saarka wafer ee Silicon carbide

Wafer silikon carbide ahwaxay ka samaysan tahay budo silikoon nadiif ah oo nadiif ah iyo budo kaarboon nadiif ah oo saafi ah sida alaabta ceeriin, iyo silikoon carbide crystal waxaa lagu koray habka wareejinta uumiga jirka (PVT), waxaana lagu farsameeyaawafer silikoon carbide ah.

① Isku-dhafka walxaha ceeriin. Budada silikoon nadiif ah oo nadiif ah iyo budada kaarboonka ee nadiifka sare ah ayaa la isku qasay iyadoo loo eegayo saami gaar ah, iyo walxaha carbide silikoon ayaa lagu soo saaray heerkul sare oo ka sarreeya 2,000 ℃. Ka dib markii la burburiyo, nadiifinta iyo hababka kale, nadiifinta sare ee silicon carbide budada alaabta ceeriin kuwaas oo buuxiya shuruudaha koritaanka crystal ayaa la diyaariyey.

② koritaanka Crystal. Isticmaalka budada SIC ee nadiifka ah sida alaab cayriin ah, kristanta waxaa lagu koray habka wareejinta uumiga jirka (PVT) iyadoo la adeegsanayo foornada koritaanka crystal is-horumarisay.

③ habayntiisa. Ingot-ka silikoon carbide crystal ingot ee la helay waxaa hagayay X-ray hal jiheeyaha crystal, ka dibna dhulka oo la giringiriyey, waxaana lagu farsameeyay dhexroorka silikon carbide crystal dhexroorka caadiga ah.

④ Goynta Crystal Isticmaalka qalabka wax lagu gooyo ee badan, kiristaalo silikoon carbide ayaa la gooyaa go'yaal khafiif ah oo dhumucdiisuna aysan ka badnayn 1mm.

⑤ Chip shiidi. Waferku waxa lagu rusheeyaa fidsanaanta iyo qalafsanaanta la doonayo iyadoo lagu shiido dareere dheeman ah oo cabbirro kala duwan leh.

⑥ polishing chip Kaarbiid silikoon oo dhalaalaya oo aan waxyeello dusha ka gaarin ayaa lagu helay dhalaalid makaanikada ah iyo nadiifinta makaanikada kiimikada.

⑦ Chip ogaanshaha. Isticmaal mikroskoob indhaha, raajada diffractometer, mikroskoob xoogga atomiga, tijaabiyaha iska caabinta aan la xiriirin, tijaabiyaha flatness ee dusha, cillad dusha sare tijaabiyaha iyo qalabyada kale iyo qalabka kale si loo ogaado cufnaanta microtubule, tayada crystal, qallafsanaan dusha, iska caabin ah, warpage, qaloocin, dhumucda isbeddelka, xoqitaanka dusha sare iyo xuduudaha kale ee waferka carbide silicon. Marka loo eego tan, heerka tayada ee chip-ka ayaa la go'aamiyaa.

⑧ Nadiifinta jajabka. Xaashida silikoon carbide polishing waxaa lagu nadiifiyaa wakiilka nadiifinta iyo biyo saafi ah si meesha looga saaro dareeraha dhalaalaynta ee haraaga ah iyo wasakhda kale ee dusha sare ee xaashida dhalaalaysa, ka dibna maraqa waa la afuufo oo qallajiyaa nitrogen nadiif ah oo aad u sarreeya iyo mashiinka qalajinta; Waferka waxa lagu dahaadhay sanduuq xaashi ah oo nadiif ah oo ku yaal qol aad u nadiif ah si loo sameeyo wafer silikoon carbide oo diyaar u ah in la isticmaalo.

Baaxadda cabbirka jajabku, way sii adkaanaysaa kobaca kristanta ee u dhigma iyo farsamada farsamaynta, iyo korodhka waxtarka wax-soo-saarka ee aaladaha hoose, ayaa hoos u dhigaya qiimaha cutubka.