Cidhifka hore ee xariiqda wax soo saarku waa sida aasaaska oo la dhiso derbiyada guriga. Wax-soo-saarka semiconductor, marxaladani waxay ku lug leedahay abuurista dhismayaasha aasaasiga ah iyo transistor-ka wafer silikoon ah.
Tallaabooyinka muhiimka ah ee FEOL:
1. Nadiifinta:Ku bilow wafer silikoon khafiif ah oo nadiifi si aad uga saarto wixii wasakh ah.
2. Oxidation:Ku kori lakabka silikoon oksijiinta maraqa si aad u go'doomiso qaybaha kala duwan ee jajabka.
3. Sawir-qaadista:Isticmaal sawir-qaadista si aad ugu dhejiso jaantusyada waferka, oo la mid ah sawir-gacmeedyo iftiin leh.
4. xoqin:Ka saar silikoon dioxide oo aan la rabin si aad u muujiso qaababka la rabo.
5. Doping:Soo geli wasakhda silikoon si aad u bedesho sifooyinka korantada, abuurista transistor-ka, aasaaska dhismaha jajab kasta.
Dhamaadka Dhexe (MEOL): Isku xirka dhibcaha
Dhammaadka dhexe ee khadka wax soo saarku waa sida rakibida fiilooyinka iyo tuubooyinka guriga. Marxaladani waxay diiradda saaraysaa samaynta isku xidhka ka dhexeeya transistor-yada lagu abuuray marxaladda FEOL.
Tallaabooyinka muhiimka ah ee MEOL:
1. Dhigista Dielectric:Dhig lakabyada dahaarka ah (loo yaqaan dielectrics) si loo ilaaliyo transistor-yada.
2. Samaynta Xiriirka:Samee xiriiro si aad ugu xirto transistors-yada midba midka kale iyo dibaddaba.
3. Isku xidhka:Ku dar lakabyo bir ah si aad u abuurto dariiqyo loogu talagalay calaamadaha korantada, oo la mid ah fidinta guriga si loo hubiyo socodka xogta iyo koronto la'aanta.
Dhabarka Dambe ee Line (BEOL): Dhamaystirka Taabashooyinka
-
Dhamaadka dambe ee khadka wax soo saarku waa sida ku darista taabashada ugu dambeysa ee guriga - rakibida qalabka, rinjiyeynta, iyo hubinta in wax walba ay shaqeeyaan. Soo saarista semiconductor, marxaladani waxay ku lug leedahay ku darista lakabyada ugu dambeeya iyo diyaarinta chip-ka baakadaha.
Tallaabooyinka muhiimka ah ee BEOL:
1. Lakabyada Biraha Dheeraadka ah:Ku dar lakabyo badan oo bir ah si kor loogu qaado isku xirnaanta, hubinta in jajabku uu qaban karo hawlo adag iyo xawaare sare.
2. Kalsoonida:Codso lakabyo ilaalin ah si aad jajabka uga ilaaliso waxyeelada deegaanka.
3. Tijaabinta:Ku hoos qabo chip-ka tijaabada adag si loo hubiyo in uu buuxiyo dhammaan tilmaamaha.
4. Goynta:Iska yaree maraqyada jajabyada gaarka ah, mid walbana diyaar u ah baakadaha oo loo isticmaalo qalabka elektaroonigga ah.
Waqtiga boostada: Jul-08-2024