Habka faahfaahsan ee wax soo saarka wafer silikoon

640

Marka hore, geli silikoon polycrystalline iyo dopants gudaha quartz-ka foornada quraaradda ah, kor u qaad heerkulka in ka badan 1000 darajo, oo hel silikoon polycrystalline xaalad dhalaalaysa.

640 (1)

Kobaca Silikoonku waa hab lagu sameeyo silikoon polycrystalline oo ah silikoon quraarad ah. Ka dib markii silikoon polycrystalline lagu kululeeyo dareeraha, jawiga kulaylka ayaa si sax ah loo xakameynayaa si ay u koraan hal kiristaalo tayo sare leh.

Fikradaha la xidhiidha:
Koritaan quraarad ah:Ka dib marka heerkulka silikoonka polycrystalline uu xasilo, kiristaalo abuurka ayaa si tartiib tartiib ah hoos loogu dhigaa dhalaalka silikoon (kristaanka abuurku sidoo kale wuxuu ku dhalaali doonaa dhalaalka silikon), ka dibna kristal abuurka ayaa kor loogu qaadayaa xawaare gaar ah abuurka. habka. Kadibna, kala-baxyada ka dhasha habka abuurka ayaa lagu tirtiraa hawlgalka qoorta. Marka qoortu ay hoos u dhigto dherer ku filan, dhexroorka silikoon crystal-ka ah ayaa la kordhiyaa qiimaha bartilmaameedka iyada oo la hagaajinayo xawaaraha jiidashada iyo heerkulka, ka dibna dhexroor siman ayaa loo hayaa si uu u koro dhererka bartilmaameedka. Ugu dambeyntii, si looga hortago in kala-baxa uu dib u sii socdo, hal-abuurka crystal-ka ayaa la dhammeeyaa si loo helo hal galaas oo kareem ah oo dhammaatay, ka dibna waxaa la soo saarayaa ka dib marka heerkulka la qaboojiyo.

Hababka loo diyaariyo hal silikoon crystal ah:Habka CZ iyo habka FZ. Habka CZ waxa loo soo gaabiyaa habka CZ. Dabeecadda habka CZ waa in lagu soo koobo nidaamka kulaylka toosan ee dhululubo, iyadoo la adeegsanayo kuleyliyaha caabbinta garaafka si ay u dhalaaliso silikoon polycrystalline ah oo nadiif ah oo nadiif ah oo quartz ah, ka dibna la geliyo crystal abuurka dusha dhalaalka ee alxanka, halka rogrogmi kara abuurka iniinaha, ka dibna dib u rogaaya lakabka. Karistaanka abuurka ayaa si tartiib tartiib ah kor loogu qaadayaa, ka dib hababka abuurka, ballaarinta, wareegga garabka, korriinka dhexroorka siman, iyo dabada, hal silikoon crystal ayaa la helay.

Habka dhalaalka aagga waa habka isticmaalka polycrystalline ingots si ay u dhalaaliso oo u kiristaalo crystals semiconductor meelo kala duwan. Tamarta kulaylka waxa loo isticmaalaa in lagu dhaliyo aag dhalaalaysa hal daraf ee usha semiconductor, ka dibna hal abuur crystal ah ayaa la alxanayaa. Heerkulka waa la hagaajiyaa si aagga dhalaalaysa uu si tartiib ah ugu dhaqaaqo dhinaca kale ee usha, iyo iyada oo loo marayo usha oo dhan, hal crystal ayaa koray, jihada crystal-na waxay la mid tahay kan abuurka abuurka. Habka dhalaalidda aagga waxa loo qaybiyaa laba nooc: Habka dhalaalidda aagga toosan iyo habka dhalaalka aagga sugidda toosan. Midka hore waxaa inta badan loo isticmaalaa sifaynta iyo korriinka quraaradda ah ee agabka sida germanium iyo GaAs. Midda dambe waa in la isticmaalo gariiradda soo noqnoqda ee jawiga ama foornada faakuumka si ay u abuurto aag dhalaalaysa xidhiidhka ka dhexeeya abuur crystal abuur ah iyo ul silikoon polycrystalline ah oo korkiisa ku dheggan, ka dibna u dhaqaaji aagga dhalaalay kor si ay u koraan hal keli ah. crystal.

Qiyaastii 85% waferrada silikoon waxaa soo saaray habka Czochralski, iyo 15% maraqyada silikoon waxaa soo saaray habka dhalaalka aagga. Marka loo eego codsiga, silikoon-kaliya ee koray ee habka Czochralski waxaa inta badan loo isticmaalaa si loo soo saaro qaybaha wareegga isku dhafan, halka silikoon-ka kali ah ee koray ee habka dhalaalka aagga inta badan loo isticmaalo semiconductors. Habka Czochralski wuxuu leeyahay habsocod qaan-gaar ah waana sahlan tahay in la koro dhexroor weyn oo hal silikoon crystal ah; Habka dhalaalidda aagga ma la xiriirto weelka, ma fududa in la wasakheeyo, waxay leedahay nadiif sare, waxayna ku habboon tahay wax soo saarka qalabka elektarooniga ah ee awoodda sare leh, laakiin way adagtahay in la koro dhexroor ballaaran oo hal silikoon crystal ah, waxaana guud ahaan loo isticmaalaa kaliya 8 inch ama ka yar dhexroorka. Fiidiyowgu wuxuu muujinayaa habka Czochralski.

640 (2)

Sababtoo ah dhibka lagu xakameynayo dhexroorka usha silikon crystal ee habka loo jiido hal crystal, si loo helo ulaha silikoon ee dhexroorka caadiga ah, sida 6 inches, 8 inches, 12 inches, iwm. crystal, dhexroorka ingot silikon waa la giringiriyey oo dhulka. Dusha sare ee usha silikoon ka dib rogid waa siman yahay qaladka cabbirkuna wuu yar yahay.

640 (3)

Isticmaalka tignoolajiyada goynta siligga horumarsan, hal-abuurka crystal-ka ayaa la gooyaa wafers silikoon ah oo dhumucdiisuna tahay qalab wax lagu gooyo.

640 (4)

Sababtoo ah dhumucda yar ee wafer silikoon, cidhifka wafer silikoon ka dib goynta waa mid aad u fiiqan. Ujeedada shiididda cidhifyada waa in la sameeyo gees siman mana fududa in la jebiyo soo saarista chip mustaqbalka.

640 (6)

LAPPING waa in lagu daro waferka inta u dhaxaysa saxanka xulashada culus iyo saxanka hoose ee crystal, oo aad cadaadis saarto oo ku wareeji caarada si aad uga dhigto maraqa mid siman.

640 (5)

Etching waa habka meesha looga saaro dhaawaca dusha sare ee maraqa, iyo lakabka kore ee ay waxyeeleeyeen farsamaynta jireed waxaa lagu milmaa xal kiimiko ah.

640 (8)

Shiididda laba-geesoodka ah waa hab lagu sameeyo waferka mid si fiican u faafo oo meesha looga saaro soo-baxyada yaryar ee dusha sare.

640 (7)

RTP waa nidaam si degdeg ah loogu kululeeyo waferka dhowr ilbiriqsi gudahood, si cilladaha gudaha ee waferku u noqdaan kuwo isku mid ah, wasakhda birta ah ayaa la xakameynayaa, iyo hawlgalka aan caadiga ahayn ee semiconductor waa laga hortagayaa.

640 (11)

Daahsoontu waa hab lagu hubiyo habsami u socodka dusha sare iyada oo loo marayo mashiin sax ah oo dusha sare ah. Isticmaalka slurry polishing iyo maro dhalaalaysa, oo ay weheliso heerkulka ku habboon, cadaadiska iyo xawaaraha wareegga, waxay baabi'in kartaa lakabka waxyeellada farsamada ee uu ka tagay habraacii hore oo aad hesho maro silikoon leh oo leh muuqaal sare oo heer sare ah.

640 (9)

Ujeedada nadiifinta waa in meesha laga saaro walxaha organic, walxaha, biraha, iwm ee ku haray dusha sare ee maraq silikoon ka dib markii la nadiifiyo, si loo hubiyo nadaafadda dusha sare ee silikoon oo buuxi shuruudaha tayada ee habka xiga.

640 (10)

Tijaabada fidsanaanta & iska caabinta waxay ogaataa maraqa silikoon ka dib nadiifinta iyo nadiifinta si loo hubiyo in dhumucda, flatness, flatness local, curvature, warpage, resistivity, iwm ee maraqa silikoon ee la safeeyey daboolo baahida macaamiisha.

640 (12)

Tirinta QAYBTA waa hannaan si sax ah loo baadho dusha sare ee waferka, cilladaha dusha sare iyo tirada waxaa lagu go'aamiyaa kala firdhisanaanta laysarka.

640 (14)

Koritaannada EPI waa hab lagu kobciyo aflaanta silikoon ee tayada sare leh ee marawaxadaha silikoon ee la safeeyey ee wejiga uumiga ee kiimikaad.

Fikradaha la xidhiidha:Kobaca Epitaxial: waxa loola jeedaa kobaca hal lakab oo crystal ah oo leh shuruudo gaar ah iyo isla hanuuninta crystal sida substrate-ka hal substrate crystal (substrate), sida kareemkii asalka ahaa ee dibadda u fidiyay qayb. Tignoolajiyada koritaanka Epitaxial waxaa la sameeyay dabayaaqadii 1950-meeyadii iyo horraantii 1960-meeyadii. Waqtigaas, si loo soo saaro qalabka-soo noqnoqda iyo awoodda sare, waxaa lagama maarmaan ah in la yareeyo caabbinta taxanaha ah ee ururiyaha, iyo walxaha waxaa looga baahan yahay inay u adkeystaan ​​​​koronta sare iyo hadda sare, sidaas darteed waxaa lagama maarmaan ah in la koro khafiif sare - lakabka epitaxial iska caabinta on substrate iska caabin hooseeya. Lakabka cusub ee kristal ee koray epitaxially wuxuu ka duwanaan karaa substrate marka loo eego nooca conductivity, resistivity, iwm. waxqabadka qalabka.

640 (13)

Baakayntu waa baakaynta badeecadaha u dambeeya ee u qalma.


Waqtiga boostada: Nov-05-2024