Hababka daahan ee photoresist guud ahaan waxa loo qaybiyaa daahan lafdhabarta, daahan quusin iyo daahan duudduuban, kuwaas oo daahan lafdhabarta waa inta badan la isticmaalo. Dahaarka lafdhabarta, photoresisist ayaa lagu daadanayaa substrate-ka, substrate-kana waxaa lagu wareejin karaa xawaare sare si loo helo filim sawir qaade ah. Taas ka dib, filim adag ayaa la heli karaa iyadoo lagu kululeynayo saxan kulul. Dahaarka Spin wuxuu ku habboon yahay dahaarka laga bilaabo filimada aadka u dhuuban (qiyaastii 20nm) ilaa filimaanta qaro weyn oo qiyaastii 100um ah. Sifooyinkeedu waa isku midnimo wanaagsan, dhumucdiisuna waxay isku mid yihiin filimada u dhexeeya wafers, cillado yar, iwm, iyo filim leh waxqabadka daahan sare waa la heli karaa.
Habka daahan Spin
Inta lagu jiro daahan wareeg ah, xawaaraha wareega ugu weyn ee substrate ayaa go'aaminaya dhumucda filimka ee photoresisistaha. Xiriirka ka dhexeeya xawaaraha wareegga iyo dhumucda filimka waa sida soo socota:
Spin=kTn
Qaaciddada, Spin waa xawaaraha wareegga; T waa dhumucda filimka; k iyo n waa joogto.
Waxyaabaha saameeya habka dahaarka lafdhabarta
Inkasta oo dhumucda filimka lagu go'aamiyo xawaaraha wareegga ugu weyn, waxay sidoo kale la xiriirtaa heerkulka qolka, qoyaanka, viscosity photoresist iyo nooca sawir-qaadista. Isbarbardhigga noocyada kala duwan ee qalooca dahaarka sawir-qaadista ayaa lagu muujiyey sawirka 1.
Jaantuska 1: Isbarbardhigga noocyada kala duwan ee qalooca dahaarka sawir-qaadista
Saamaynta wakhtiga wareega ugu muhiimsan
Waqtiga gaaban ee wareegga ugu muhiimsan, waa sii dhumucda filimka. Marka wakhtiga wareegga ugu weyn la kordhiyo, filimku wuu sii yaraanayaa. Marka ay dhaafto 20s, dhumucda filimku waxa uu ahaanayaa mid aan isbeddelin. Sidaa darteed, waqtiga wareegga ugu weyn waxaa badanaa loo doortaa in ka badan 20 ilbiriqsi. Xidhiidhka u dhexeeya wakhtiga wareega ugu muhiimsan iyo dhumucda filimka ayaa lagu muujiyay sawirka 2.
Jaantuska 2: Xiriirka ka dhexeeya wakhtiga wareegga ugu weyn iyo dhumucda filimka
Marka sawir-qaadaha lagu daadiyo substrate-ka, xitaa haddii xawaaraha wareega ugu weyn ee xiga uu isku mid yahay, xawaaraha wareega ee substrate-ka inta lagu jiro qulqulka ayaa saameyn doona dhumucda filimka ugu dambeeya. Dhumucda filimka sawir-qaadista waxay kordhisaa kororka xawaaraha wareegga substrate-ka inta lagu jiro qulqulka, taas oo ay ugu wacan tahay saameynta uumiga dareeraha marka sawir-qaaduhu uu soo baxo ka dib marka uu tibaaxo. Jaantuska 3 wuxuu muujinayaa xiriirka ka dhexeeya dhumucda filimka iyo xawaaraha wareega ugu weyn ee xawaaraha wareegyada substrate ee kala duwan inta lagu jiro dhibicda sawir-qaadista. Waxaa laga arki karaa shaxanka in kororka xawaaraha wareegga ee substrate-ka qulqulaya, dhumucda filimku si dhakhso ah ayuu isu beddelaa, farqiga u dhexeeyaa waa mid aad u muuqda oo ka muuqda aagga leh xawaaraha wareegga ugu hooseeya.
Jaantus 3: Xiriirka ka dhexeeya dhumucda filimka iyo xawaaraha wareega ugu muhiimsan ee xawaaraha wareegyada substrate ee kala duwan inta lagu jiro qaybinta sawir-qaadista
Saamaynta qoyaanka inta lagu jiro dahaarka
Marka qoyaanku hoos u dhaco, dhumucda filimku wuu kordhiyaa, sababtoo ah hoos u dhaca qoyaanku wuxuu kor u qaadaa uumiga dareeraha. Si kastaba ha ahaatee, qaybinta dhumucda filimku si weyn uma bedesho. Jaantuska 4 wuxuu muujinayaa xidhiidhka ka dhexeeya qoyaanka iyo qaybinta dhumucda filimka inta lagu jiro dahaarka.
Jaantus 4: Xiriirka ka dhexeeya qoyaanka iyo qaybinta dhumucda filimka inta lagu jiro dahaarka
Saamaynta heerkulka inta lagu jiro dahaarka
Marka heerkulka gudaha uu kordho, dhumucda filimku wuu kordhiyaa. Waxaa laga arki karaa jaantuska 5 in dhumucda filimka sawir-qaadista ee qaybinta qaybinta ay ka beddesho convex ilaa concave. Qallooca shaxanka ayaa sidoo kale muujinaya in labbiska ugu sarreeya la helo marka heerkulka gudaha uu yahay 26 ° C iyo heerkulka sawir-qaadista uu yahay 21 ° C.
Jaantus 5: Xiriirka ka dhexeeya heerkulka iyo qaybinta dhumucda filimka inta lagu jiro dahaarka
Saamaynta xawaaraha qiiqa inta lagu jiro dahaarka
Jaantuska 6 wuxuu muujinayaa xidhiidhka ka dhexeeya xawaaraha qiiqa iyo qaybinta dhumucda filimka. Maqnaanshaha qiiqa, waxay muujinaysaa in bartamaha waferku u janjeero inuu dhumucdo. Kordhinta xawaaraha qiiqa waxay hagaajin doontaa labbiska, laakiin haddii aad loo kordhiyo, labbisku wuu yaraan doonaa. Waxaa la arki karaa in ay jirto qiimaha ugu fiican ee xawaaraha qiiqa.
Jaantus 6: Xiriirka ka dhexeeya xawaaraha qiiqa iyo qaybinta dhumucda filimka
Daaweynta HMDS
Si sawir-qaadaha looga dhigo mid la dabooli karo, maraqa wuxuu u baahan yahay in lagu daweeyo hexamethyldisilazane (HMDS). Gaar ahaan marka qoyaanka lagu dhejiyo dusha sare ee filimka Si oxide, silanol ayaa la sameeyay, kaas oo yareynaya dhejinta sawir-qaadista. Si loo soo saaro qoyaanka oo uu u dumiyo silanol, maraqa waxaa badanaa lagu kululeeyaa 100-120 ° C, ceeryaamo HMDS ayaa la soo bandhigay si ay u keento fal-celin kiimikaad. Habka falcelinta ayaa lagu muujiyey Jaantuska 7. Iyada oo loo marayo daaweynta HMDS, dusha sare ee hydrophilic oo leh xagal yar oo xiriir ah ayaa noqda dusha hydrophobic oo leh xagal weyn oo xiriir ah. Kuleylinta mareegaha waxay heli kartaa adhesion sare oo ka hortag ah.
Jaantuska 7: Habka falcelinta HMDS
Saamaynta daawaynta HMDS waxa lagu arki karaa marka la cabbiro xagasha xidhiidhka. Jaantuska 8 wuxuu muujinayaa xidhiidhka ka dhexeeya wakhtiga daawaynta HMDS iyo xagal xidhiidhka (heerkulka daawaynta 110°C). Substrate-ku waa Si, wakhtiga daawaynta HMDS waxa uu ka weyn yahay 1min, xagasha xidhiidhka waxa uu ka weyn yahay 80°, saamayntii daawaduna waa mid degan. Jaantuska 9 wuxuu muujinayaa xidhiidhka ka dhexeeya heerkulka daawaynta HMDS iyo xagasha xidhiidhka (waqtiga daawaynta 60s). Marka heerkulku dhaafo 120℃, xagasha xidhiidhka ayaa hoos u dhacaya, taas oo muujinaysa in HMDS ay qudhunto kulayl dartiis. Sidaa darteed, daaweynta HMDS waxaa badanaa lagu sameeyaa 100-110 ℃.
Jaantus 8: Xiriirka ka dhexeeya wakhtiga daawaynta HMDS
iyo xagal xidhiidhka (heerkulka daawaynta 110 ℃)
Jaantus 9: Xiriirka ka dhexeeya heerkulka daawaynta HMDS iyo xagasha xidhiidhka (waqtiga daawaynta 60s)
Daawaynta HMDS waxa lagu sameeyaa substrate silikoon leh filim oksaydh ah si loo sameeyo qaab sawir-qaadis ah. Filimka oksaydhka ayaa markaa lagu dhejiyay hydrofluoric acid oo lagu daray bakhti, waxaana la ogaaday in daawaynta HMDS ka dib, qaabka sawir-qaadista laga ilaalin karo inuu dhaco. Jaantuska 10 ayaa muujinaya saamaynta daawaynta HMDS (cabbirka qaabku waa 1um).
Jaantus 10: Saamaynta daawaynta HMDS (cabbirka qaabku waa 1um)
Dib u dubista
Xawaaraha wareega isku midka ah, heerkulku sarreeyo ee prebaking-ka, dhumucdiisuna waxay yar tahay filimka, taas oo tilmaamaysa in heerkulka sare ee dubista, uumi badan yahay dareeraha, taasoo keentay dhumucda filimka khafiifka ah. Jaantuska 11 ayaa muujinaya xidhiidhka ka dhexeeya heerkulka dubista ka hor iyo cabbirka Dill's A. Halbeegga A ayaa tilmaamaya diiradda saarista wakiilka sawir-qaadista. Sida ka muuqata shaxanka, marka heerkulka dubista ka hor uu kor u kaco 140 ° C, qiyaasta A ayaa hoos u dhacda, taas oo muujinaysa in wakiilka sawir-qaadista uu ku qudhmiyo heerkul ka sarreeya kan. Jaantuska 12 wuxuu muujinayaa gudbinta spectral ee heerkul aad u kala duwan oo hore loo dubay. Marka la joogo 160°C iyo 180°C, kororka gudbinta waxaa lagu arki karaa baaxadda hirarka dhererka ee 300-500nm. Tani waxay xaqiijinaysaa in wakiilka sawir-qaadista la dubay oo lagu qurxiyay heerkul sare. Heerkulka hore ee dubista wuxuu leeyahay qiimo wanaagsan, kaas oo lagu go'aamiyo sifooyinka iftiinka iyo dareenka.
Jaantus 11: Xiriirka ka dhexeeya heerkulka dubista ka hor iyo cabbirka Dill's A
(qiimaha lagu qiyaasay OFPR-800/2)
Jaantus 12: Gudbinta Spectral ee heerkulka dubista ka hor ee kala duwan
(OFPR-800, dhumucda filimka 1um)
Marka la soo koobo, habka dahaarka lafdhabarta ayaa leh faa'iidooyin gaar ah sida xakamaynta saxda ah ee dhumucda filimka, waxqabadka kharashka badan, xaaladaha habka fudud, iyo hawlgalka fudud, sidaas darteed waxay leedahay saameyn weyn oo lagu dhimayo wasakheynta, badbaadinta tamarta, iyo hagaajinta waxqabadka kharashka. Sanadihii la soo dhaafay, dahaarka lafdhabarta ayaa sii kordhayay dareenka, codsigeeduna wuxuu si tartiib tartiib ah ugu faafay meelo kala duwan.
Waqtiga boostada: Nov-27-2024