Giraanta CVD-ga badan ee SiC

Sharaxaad Gaaban:

Faraantiyada badan ee CVD SiC waxay isticmaalaan gaaska isha silikoon (sida silikoon hydride) iyo gaaska kaarboonka (sida methane) sida alaabta ceeriin, iyagoo ka falcelinaya heerkul sare si loo dhigo agabka SiC ee cabbirka weyn ee substrate ama caaryada. Nidaamkani wuxuu u oggolaanayaa SiC in si isku mid ah loogu kaydiyo aag ballaaran, samaynta qaab dhismeedka giraanta xooggan oo joogto ah.

Email noogu soo dir

Faahfaahinta Alaabta

Tags Product

Waa maxay sababta Silicon Carbide Etching Ring?

RTPCVD SiC giraantawaxaa si weyn loogu isticmaalaa beeraha warshadaha iyo sayniska ee heerkulka sare iyo deegaanka daxalka. Waxay door muhiim ah ka ciyaartaa wax soo saarka semiconductor, optoelectronics, mashiinada saxda ah iyo warshadaha kiimikada. Codsiyada gaarka ah waxaa ka mid ah:

1. Wax-soo-saarka Semiconductor:RTP CVD SiC giraantawaxaa loo isticmaali karaa kululaynta iyo qaboojinta qalabka semiconductor, bixinta xakamaynta heerkulka xasilloon iyo hubinta saxnaanta iyo joogtaynta habka.

2. Optoelectronics: Iyada oo ay ugu wacan tahay kuleylkeeda kulaylka wanaagsan iyo iska caabinta heerkulka sare, RTPCVD SiC giraantawaxaa loo isticmaali karaa sidii taageero iyo qalab kala daadinta kulaylka ee laysarka, qalabka isgaarsiinta fiber optic iyo qaybaha indhaha.

3. Mashiinada saxda ah: RTP CVD SiC giraanta waxaa loo isticmaali karaa qalabyada saxda ah iyo qalabka ku jira heerkulka sare iyo jawiga wasakhaysan, sida foornooyinka heerkulka sare, qalabka faakuumka iyo reactors kiimikaad.

4. Warshadaha Kiimikada: Sababtoo ah iska caabbinta daxalka iyo xasiloonida kiimikada, RTP CVD SiC giraanta waxaa loo isticmaali karaa weelasha, tuubooyinka iyo reactors ee falcelinta kiimikada iyo hababka kicinta.

Nidaamka Epi

Nidaamka RTP

Nidaamka CVD

Waxqabadka badeecada:

1. La kulan habka ka hooseeya 28nm

2. U adkaysiga daxalka sare

3. Wax qabad aad u nadiif ah

4. Adagnimada sare

5. Cufnaanta sare

6. Iska caabbinta heerkulka sare

7. Xiro iska caabin

Codsiga alaabta:

Qalabka silikoon carbide waxay leeyihiin sifooyinka adagaanta sare, xidhashada caabbinta, iska caabinta daxalka iyo xasilloonida heerkulka sare. Alaabooyinka leh waxqabad dhamaystiran oo heersare ah ayaa si weyn loogu isticmaalaa etching etching iyo hababka TF/Diffusion.